电路设计图形即转化为硅片上细微繁密的沟壑纹理。谁掌握了这种利刃,就拥有了集成电路产业发展水平的技术掌控权。各发达国家政府一直对相关战略产业持续投入,争取战略竞争优势,在此领域,荷兰、美国、日本早已虎踞龙盘。
前世的尼康公司创建于1917年,由当时在日本领先的3家光学仪器制造部门合并组成,现有职员6900余人。于60年代中期涉足半导体制造领域,1980年介入stepper(步进曝光机)制造领域,至今已向世界市场提供了6200余台stepper,自1996年起stepper年销售额(20亿美元)便超过了公司年销售额(约35亿美元)的一半以上,达60%。2000年尼康公司的stepper全球销售额达24.3亿美元,占当年全球光刻设备市场41%的份额。自1985年起,nikon公司的stepper全球销量便取代了gca公司多年来(1978~1984年)的霸主地位(当年nikon公司145台,gca公司115台),之后其产量逐年上升,到1996年财政年度(1996年3月~1997年3月)nikon公司stepper年销售量创历史最高记录,达到900余台,占当年世界stepper市场销售量(1530台)的3/5,从1985年2001年,尼康公司已连续独霸世界stepper市场之首达16年之久。
而前世同属日本的佳能公司创建于1937年,其前身为“精机光学研究所”,是全球著名的跨国公司,1970年开始涉足半导体制造领域,更是早于尼康在1978年推出激光自动对准光刻机“pla-500fa”,1979年推出了第一台1:1反射投影光刻机“mpa-500fa”,1984年推出第一台商品化步进重复缩小投影光刻机“fpa-1500fa”,1990年推出第一台i线光刻设备“fpa-2000ii”,整个8