炉的问题，我和郭维达瓦里希在技术上有些分歧，你来看一看吧！”

周博点点头，郭维是中方技术负责人，他的技术路线是周博提供的。

所谓的技术分歧，周博心里已经大概有了数。

“那好，我们看看！”

说着，众人向着车间走去。

从硅矿石到高纯硅，不是一步完成的。

按照硅提纯的步骤，硅片厂建设了三大车间。

第一车间是电弧炉车间，负责硅矿石第一步冶炼，使二氧化硅与碳发生反应，生成粗硅（也称冶金级硅），纯度约为95%~99%。

第二车间是酸洗车间，通过酸化反应，去除粗硅中的铁、铝、碳等杂质，提高硅的纯度至99.9%以上。

这两步都是传统工艺，双方没什么分歧。

为了快速上马，周博甚至直接照搬毛熊方案，设备也都从毛熊进口。

而第三车间是提纯车间。

将低纯硅与氯化氢（hcl）反应生成三氯硅烷（sihcl?），然后通过蒸馏和化学气相沉积（cvd）将三氯硅烷还原为高纯度多晶硅。

纯度达到99.9999%（6n）至99.9999999%（9n）

这个方法被称为西门子法。

双方分歧就在这一步。

西门子法虽然被各国广泛采用，但传统西门子法在效率、能耗、生产成本都不太理想。

因此，周博采用了更先进的改良西门子法。

能耗显著降低，同时效率提升一倍以上。

传统西门子法中，硅的沉积率只有约10%-15%。

如果采用改良西门子法，沉积率提高到30%。

很快，众人来到提纯车间，聚集在一个4米长的圆柱形金属腔体前。

这是硅提纯的关键设备，反应炉。

提纯时，将多根细长的硅棒（硅芯）插入反应炉。

然后通过沉积（c