第230章 鸡蛋清引发的良品率问题(2 / 4)

给我看看!”

一名技术员将一块刚下线的芯片递了过来。

周博来到显微镜前,将芯片放在物境前固定好,看了起来。

镜头中,本该清晰的晶体管线条像被水晕开的墨迹,模糊成团。

这就是所谓图案粘连。

看完之后,周博没有说话,走到了光刻机的操作台前。

暗暗在脑海中发出指令。

“分析gk-1光刻机···”

【叮!】

【系统分析开始···】

【光刻机型号:gk-1】

【分析结果如下:】

【1.光源系统正常。

2.对准与调焦系统正常。

3.双工件台系统正常

4.掩模输运与定位系统正常···】

系统分析完毕,光刻机一切正常。

周博叹了一口气,心中也犯了难,问题出在什么地方呢?

系统也不是万能的,现在要靠自己定位问题了。

“大家有什么看法!”周博先询问众人的意见。

姜明尚道:“每次都出现图案粘连,我还是怀疑光刻胶有问题。

但是又查不出来!”

周博点点头。

现在他们所用的光刻胶,是从鸡蛋清里提取出来的,调配过程是周博经过多次实验确定下来的。

一年多来,在电子厂车间产线上使用,从来没出过问题。

之所以用鸡蛋清,多少有点无奈,光刻胶这东西虽然不起眼,但技术含量可不低。

要从零开始批量制造,也是相当麻烦,所以周博才用了妥协的鸡蛋清方案。

想了想,周博一时也难以确定问题所在,只好道:“把流程重新走一遍吧!”

“好!”

随即,众人取出一块晶圆片放入光刻机中,启动光刻工序。

光刻机内,汞灯光源射出紫外光,透过自制透镜组,再透过掩膜版,将电